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admin 3年前 (2022-05-05) caiji 264 0

原标题:PVD镀膜材料:新材料隐形冠军

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靶材是通过磁控溅射、电子束蒸发或其他类型的镀膜系统(设备)在适当的工艺条件下,溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

一般靶材主要由靶坯、背板等部分构成,其中,靶坯是高速离子束流轰击的目标材料,属于溅射靶材的核心部分,在溅射镀膜过程中,靶坯被离子撞击后,其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜。

靶材产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节,靶材制造和溅射镀膜环节是整个溅射靶材产业链中的关键环节。

其中,溅射镀膜的品质对下游产品的质量具有重要影响。在溅射镀膜过程中,溅射靶材需要安装在机台中完成溅射反应。PVD镀膜材料

目前,薄膜材料的制备技术主要包括物理气相沉积(PVD)技术和化学气相沉积(CVD)技术。

其中PVD技术为主流镀膜方法,具体是指在真空条件下采用物理方法,将某种物质表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体过程,在基板材料表面沉积具有某种特殊功能的薄膜材料,根据操作技术可分为溅射镀膜和真空蒸发镀膜两种方法。

PVD镀膜材料用以制备各种具有特定功能的薄膜材料。主要的下游应用领域包括平板显示器、半导体功能器件、太阳能电池、光学元器件等。绿化布

溅射机台专用性强、精密度高,市场长期被美国、日本跨国集团垄断,主要设备提供商包括AMAT(美国)、ULVAC(日本)、ANELVA(日本)、Varian(美国)等行业内知名企业。

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国内高纯溅射靶材生产企业已经逐渐突破关键技术门槛,拥有了部分产品的规模化生产能力,形成了以江丰电子、阿石创、有研亿金、隆华节能等为代表的专业从事高纯溅射靶材的生产商。

江丰电子主要产品为各种高纯溅射靶材,包括铝靶、钛靶、钽靶、钨钛靶等,主要用于制备电子薄膜材料。目前,江丰电子产品主要应用于半导体、太阳能电池及平板显示器等。

阿石创从事各种PVD镀膜材料研发、生产和销售,主导产品为溅射靶材和蒸镀材料两个系列。

有研亿金主要产品包括高纯金属靶材、蒸镀材料、口腔正畸器材、医疗用介入支架和贵金属合金、化合物等,其靶材产品主要包括铝及其合金靶材、钛靶、铜靶、钽靶等。

隆华节能收购的四丰电子主要从事高纯金属及合金材料业务,产品以钼靶材为主。公司收购的晶联光电主要从事氧化铟锡(ITO)靶材的研发、生产和销

这些企业研发实力雄厚、管理体制健全、上升前景广阔,将有望打破溅射靶材核心技术由国外垄断的局面,扩大国产溅射靶材的市场份额。绿化布

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